供应 硅芯片检查显微镜LW300MT

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产品规格：LW300MT

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关 键 词：硅芯片检查显微镜

行 业：IT 行业办公设备 显微镜 

发布时间：2011-05-23

产品特点：
LW300MT硅芯片检查显微镜专为微电子行业量身定做，适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查；可以方便的快移和精确的位移检查；也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查
技术参数
规格
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数	数值孔径	工作距离(mm)	备注
5X	0.12	9.70	 
10X	0.25	3.73	
20X	0.40	7.23	
40X	0.60 	3.04	
 
 
 
 
 
 
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照  明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
          下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电  源：输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
技术参数
目  镜:  10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜:  30°倾斜，瞳距：53~75 mm。
物  镜:  无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片) 
放大倍数	数值孔径	工作距离(mm)	备注
5X	0.12	9.70	 
10X	0.25	3.73	
20X	0.40	7.23	
40X	0.60 	3.04	
 
 
 
 
 
 
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。
聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。
调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。
照  明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。
      下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。
电  源：输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。