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产品优势： 1. 专门为离子植入制程所设计的新一代智能型低温泵系统。 2. 专利的分布式监控系统及个别调整低温泵功能，以维持系统最佳的真空效能，提供制程所需的的一致性。 3. 快速再生系统和可同时控制多组低温泵。 4. 节能设计,不需消耗太多能源和冷却水－仍可以提供最佳的真空性能。 5. 安装容易，使用方便。 6. 加强型GOLDLink软件提供远程监测预防和预测性维护。 7. 只要付出最少的成本即可拥有最高正常运行时间，最高的生产率，最低的整低温泵系统。 8. 全球Helix服务和支持。
