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WS-1000系列旋转处理湿法刻蚀设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括（但不限于）： ◆涂敷 ◆蚀刻 ◆开发-水/溶剂 ◆清洗-水/溶剂 ◆确认，双氧水（原样混合） ◆确认，HBr ◆温控开发 ◆冲洗/烘干 可以根据要求采用更高级的材料的湿法刻蚀设备 更好的湿法刻蚀设备 WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。 最佳的湿法刻蚀设备 WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合最严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和最小毒副产品的检测标准。
