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采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。 ACM 600 使用特殊的微透镜扫描盘,使采集的单个测量点相互平行。ACM 600目前是唯一商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比,微透镜扫描盘使光学系统反应快速,所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的独特之处在于采用了LED作为光源,避免了使测量头发热,因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘,可以快速转换物镜。 检测物件的设定和测量全过程可以通过一个独立的监视器观察。测量软件基于Windows XP操作系统编制,并提供所有标准的评估程序。 仪器结构紧凑,耐用,特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后,仪器可作为普通的显微物镜使用。 主要用途: 粗糙和光滑表面的测量和显示 亚微米范围内的微观形貌测量 金相测量 非接触式表面轮廓的计量 主要特点 0,1mm2到0,7mm2视场 采用钉合方式扩大视场 配置物镜切换盘 确定垂直分辨率来设定测量时间 横向分辨率可达1祄,垂直分辨率最高可到5 nm 具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统 全自动数据评估 实验室和在线两用设计 主要优点: 高保真轮廓复现,对物体三维结构快速,非接触式的定性和量化 测量结果与材料表面性能无关 根据用户需求配置系统和软件 无人干预全自动测量过程 将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用 采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描 软件: Windows XP 操作系统 测量和评估软件包括下列功能: 水平调整,图像缩放, 轮廓线的提取,毛刺的剔除, 过滤,数学计算,FFT,ACF,2D/3D 粗糙度参数,面积的测定,斜度和波度的分布状态及其它。 用户特定要求的计算方法 技术数据: 共焦显微镜头 标准规格配置50x/0.8物镜 带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器 光源: LED 寿命 h: > 50,000小时 采用步进电机时的测量范围mm:50mm 采用压电执行器件时的测量范围µm: 100/150µm 最高垂直分辨率 nm: 5nm 最高横向分辨率µm: 1µm 工作距离mm: 0.66mm 视场µm: 370 x 280µm 256个高度台阶的测量时间s: 约 30秒 重量kg:约12kg 测量工作台 X、Y、Z每轴位移mm: 50mm 最小步距µm : 1µm