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关 键 词:罗茨真空机组
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发布时间:2010-12-28
选用罗茨真空机组前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。 为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组,此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。 通常,选配罗茨真空机组前级泵的原则如下: 1、 要求前级泵造成主泵工作所需的预真空条件。 2、 主泵允许的最大排气压力下,前级泵必须将主泵所排出的最大气体量及时排走,前级泵的抽速须按照该泵在实际入口压力时的实际抽速。 3、 兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间和预抽真空度的要求。