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产品简介
本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
以下特点:1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
技术参数
品名: 真空镀膜电源
型号: SPWM系列
输入: 相数 单相或三相
电压 220/380V
频率 50Hz
输入方式: 4线