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在保留 XGT-1000WR 优点的基础上，Horiba 又推出专用于微区分析的X荧光分析仪。XGT-5000 采用 Horiba 专利技术，将 X 射线聚集成全世界最小的 10 μm 射线束，点分析的强度相当于 SEM-EDX，是同类产品的 20 倍。最小分析区域为 10 μm，最大分析区域为 10 cm x 10 cm ，不但可以对样品的表面进行常规分析，也可以对样品的内部结构进行分析，这是同类产品无法比拟的优势。 10 μm 的 X 射线高强度、高速度的扫描分析。 样品可以置于大气中分析，专利的真空探针方式。 同轴观察，可以从摄像系统中选取所需的测量点，单键控制，放大倍数最大可至
