价格：面议
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仪器介绍: Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（**技术的相位相干算法）干涉原理，可**测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。 MMD-220A型轮廓仪通用型 常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性：≤0.2чm/100mm 示值误差：0.6%-0.15%±2чm Z量程：10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程：≤220mm X向光栅分辩率：1чm 附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头 MMD-100B 型 轮廓仪 **型 常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性：≤0.2чm/80mm 示值误差：0.8%-0.1%±2чm Z量程：10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程：≤100mm X向光栅分辩率：1чm英国 附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头 MMD-220B 型 轮廓仪 **型 常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性：≤0.15чm/100mm 示值误差：0.5%-0.1%±1чm Z量程：10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程：≤220mm X向光栅分辩率：0.05чm英国 附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头
