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关 键 词:硅片清洗设备
行 业:汽修 汽车保养设备 清洗设备
发布时间:2010-01-13
1.品牌:《南北电子》 2.设备适用:该设备适用于薄晶圆(到80 µm)以及符合 SEMI单晶圆湿法工艺标准的晶圆。 3.设备特点:采用标准的湿法工艺对硅晶圆片进行清洁、去胶、刻蚀和光刻。全电脑自动控制方式,保护脆弱的薄晶圆在工艺流程中不受损毁。