精工膜厚仪

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发布时间：2010-03-01

产品型号：SFT9400、SFT9450、SFT9455
　　
　　技术参数：
　　可测量元素：原子序数22(Ti)～83(Bi) 
　　X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶) 
　　　　　　 管电压： 50kV 管电流： 1.5mA Be 窗 
　　滤波器：一次滤波器：Mo 
　　照射方式：上方垂直照射方式
　　检测器：比例计数管+半导体检测(无需液氮) 
　　准直器：圆形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
　　安全性能：样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能
　　样品图像对焦方式：激光自动对焦
　　样品观察：彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明 
　　样品平台大小及承重：　　SFT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
　　　　　　　　　　　　　　SFT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
　　　　　　　　　　　　　　SFT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
　　重量：SFT9400/SFT9450:125kg (不含电脑) 
　　　　　　　　 SFT9455:130kg(不含电脑) 
　　修正功能：底材修正、已知样品修正、人工输入修正 
　　测量报告书制作：配备MS-EXCEL? & MS-WORD?(使用宏支持自动制作测量报告书) 
　　　　　　　　　　测量能谱与样品图像保存功能
　　
　　产品特点：
　　 ★ 搭载有高功率X射线管及双检测器（半导体检测器+比例计数管）
　　　　　　可对应组合复杂的应用程序，特别是可识别Ni和Cu之类能量较为接近的元素。
　　　　　　能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次滤波器的情况下进行测量
　　　　　　对于含Br的电路板，可以不受Br的干扰对Au的镀层厚度进行高精度的测量
　　　　　　可测量0.01μm以下的超薄的Au镀层厚度
　　★ 搭载块体FP发软件和薄膜FP法软件
　　　　 对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等，适用于广泛的运用领域
　　★ 适用超微小面积的测量
　　　　 标准配备的15μmΦ的准直器，可对超微小面积进行测量。
　　★ 搭载了可3段切换的变焦距光学系统
　　★ 拥有防冲撞功能
　　★ 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板（SFT9455）
　　★ 搭载激光对焦系统
　　★ 搭载测试报告自动生成软件