供应荏原製作所尾气处理装置

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产品规格：GDC250SA

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包装说明：GDC250SA

关 键 词：荏原製作所

行 业：环保 辐照净化装置 尾气处理装置 

发布时间：2010-03-31

荏原製作所燃烧式尾气处理装置 
燃烧式尾气处理装置GDCシリーズは温暖化ガスであるPFCガスを含む半導体プロセスガスを高効率に分解除去し、燃焼反応部の容易なメンテナンスを可能にする生成物自動除去機能（スクレーパ）により製品アップタイムを向上させた燃焼式排ガス処理装置です。また様々なインターロック機能を採用し、高い安全性を確保しました。
 
特長 
最适合可燃性，活性，不活性气体的处理
（特別管理物質を除く） 
プロセスガスとクリーニングガスを同時処理可能 
低ランニングコスト
(処理対象ガスに応じて燃料供給量可変） 
高アップタイムと簡単メンテナンス設計
(自動スクレーパによりメンテナンス性向上） 
各種安全対策標準装備 
  

型式 GDC250SA GDC250SP SDC250SH GDC500SA GDC500SP  GDC500SH 
燃料 都市ガス プロパン 水素    都市ガス   プロパン 水素 
最大ガス流入量
(L/min) 250 500