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关 键 词：125单晶硅片
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发布时间：2009-08-25
单晶硅片参数： 规格：125mm*125mm 1、Type/类型：P 2、Square side/尺寸:125*125±0.3mm 3、Thickness/厚度： 200±20μm 4、Lifetime/少子寿命≥10μs（原片≥1.5μs） 5、Resistivity/电阻率：1–3Ω•cm 6、Oxygen content/氧含量≤1×1018atoms/cm3 7、Carbon content/碳含量≤5×1016atoms/cm3 8、TTV/总厚度偏差≤20μm 9、BOW/翘曲度≤30μm 10、Saw Marks/线横≤8μm
