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联系人：徐旭 先生 **工程师
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地址：中国河北沧州市新华中路14号方圆电子公司
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关 键 词：蒸镀仪
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发布时间：2011-10-12
EMITECH K950X 高真空蒸镀仪
——应用于SEM，TEM及X-Ray
K950X高真空蒸镀仪在使用碳棒蒸镀时可给出连续的碳膜，并且使用涡轮分子泵时无污染。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜，以及SEM中的导电涂层。
在厚度为2nm (20埃)或较厚时膜是连续的。较通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到较大电流密度，使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点，出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达到1x10-4 mbar或较高的真空度。
涡轮分子泵在K950X中作为标准配置，此泵作为机械真空泵的后级泵，真空为全自动控制，真空度**1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制，同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行。
标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常*适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽，可放置标准的载玻片，这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“**释放头”，使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置，避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上，并且可*地“关闭”直接通大气。
仪器特点 仪器优点
● 全自动抽气系统 ● *操作
● 旋转样品台 ● 均匀的样品涂层
● 菜单驱动式“用户”键盘输入 ● 方便多用户操作
● **释放头方便选择不同的头 ● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 约束的排气控制 ● 在排气过程中可防止样品损坏
● 涡轮分子泵抽真空 ● 碳棒或碳丝蒸发
技术规格
仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量：28Kg
工作腔室：硼硅酸盐玻璃165mm Dia x 125mm H
*钟罩：聚碳酸酯
铝机座：110mm Dia x 115mm H
碳 源：直径3.2mm碳棒
旋转样品台：直径为60 mm，倾斜0-90o
到电极距离为110mm 到 130mm
真空计范围：ATM - 1x10-5 mbar
操作真空：1x10-2 to 1x10-5 mbar
安培计：0-50 Amps
低电压选择：0-5V-15V-25V
除气电流：0-25 Amps
涡轮分子泵：50L/Second
Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min
complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr
电源：230V 50Hz (包括泵较大电流8 安培)；115V 60Hz(包括泵较大电流16 安培)
