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小型HFCVD 热丝化学气相沉积设备，主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的科学研究。 可用于力学级、热学级、光学级、声学级的金刚石产品的科学研究。 可以研发金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。 可用于研发防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。 可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。 可用于太阳能薄膜电池的研发。 主要特点 热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰问题）。 可单面镀膜也可双面镀膜。 设备安全性设计，电力系统的检测与保护、设置真空检测与报警保护功能、设置水压检测与报警保护装置、冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护。 技术参数 产品型号：HITSemi-HFCVD-X 基片尺寸：圆形：最大φ550mm。矩形：最大1200mm x 550mm 热丝电源功率：1KW～300KW可调 腔体材质：304/316（选配）不锈钢，电解抛光 真空室：双层水冷结构，立式D形、前后开门 真空系统：机械泵 极限真空：5×10-1Pa 热丝材料：钽丝或钨丝 热丝温度：1800℃～2500℃ 可调 工艺电源：直流电源 基片台：可旋转0~3转/小时、可水冷、可加偏压（选配）、由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5mm～100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm 控制形式：半自动/全自动 工艺气体（可定制）：H2（5000sccm，浓度100%）；CH4（200sccm，浓度100%）；B2H6（50sccm，H2浓度99%）；Ar（1000sccm，浓度100%） 恒温制冷水箱：可选配 空气压缩机：可选配 注：不含尾气处理系统 设备工作条件 供电：三相五线制，AC 380V，50Hz；接地电阻≤1Ω 功率：根据设备规模配置，峰值功率（50KW~300KW） 冷却水：≤100L/min 水压：0.1MPa~0.15MPa 水温：18℃～25℃ 气动部件供气压力：0.5MPa～0.7MPa 质量流量控制器供气压力：0.05MPa～0.2MPa 工作环境温度：10℃～40℃ 工作环境湿度：≤50% 关于我们 鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿、市场前沿和产业前沿的交叉点，寻求创新yin*ling与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计中心和生产制造基地。 公司核心业务是微纳技术与gao*duan精密制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样，可为生产企业提供生产型设备，可为科学研究提供科研设备。 公司人才团队知识结构完整，有工程师哈工大教授和博士，为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有30多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。 公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体和泛半导体装备的研发、生产、调试以及器件的中试、生产、销售的能力。 公司团队技术储备及创新能力 1998~2002 -设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延硅基GaN -设计制造了聚氨酯薄膜的卷绕式镀膜机 2005 -设计制造了中国di*yi台完全自主知识产权的MBE(分子束外延设备)，用于外延光电半导体材料 2007 -设计超高温CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生长 -设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术） 2015 -设计制造了金刚石涂层制备设备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜 2017 -优化Rheed设计，开始生产型MBE设计 -开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备 2019 -设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备 2021 -鹏城半导体技术（深圳）有限公司成立 2022 -子公司鹏城微纳成立； -热丝CVD设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货 -获得ISO9001质量管理体系证书 2023 -PSD方法外延GaN装备与工艺的技术攻关； -科技型中小企业-入库编号202344030500018573； -创新型中小企业； -获50+项知识产权专利； -企业信用评价AAA级信用企业；/ISO三体系认证； -子公司晶源半导体成立 2024~2026 -与jun*gong和shang*shi*tou*bu*qi*ye*客户合作取得突破（X *guang*gan*板及光电器件的薄膜生长） -鹏城微纳技术（沈阳）有限公司子公司扩产 -TGV/TSV/TMV -wei*guang*tan*测、yi*liao*ying*xiang、fu*he*ying*zhi*tu*层 -gao*xin*ji*shu企业 one*three*sex*three*two*seven*five*0*0*one*seven
