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关 键 词：金靶材厂家
行 业：冶金 有色金属
发布时间：2025-12-13
贵金属：金、银、铂、钌、铑、钯、锇、铱
高纯金：金靶、金粒、金丝、金电极、金片、金粉
纯度：3N 、3N5、4N、4N5、5N
规格：金靶（平面圆靶，方靶，旋转靶，台阶靶均可加工，规格按客户要求定做） 金粒（规
格Φ2*5mm,Φ2*10mm，其他规格定做）
金丝（Φ0.2mm、Φ0.3mm、Φ0.5mm、Φ1mm其他规格定做）
金片（根据客户要求定做）
金粉（根据客户要求定做）
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质
含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和元素含量
都有要求。
靶材是电子工业实现各种功能镀膜的材料，因此靶材行业的发展主要还是依赖于下游应用产业的进步。而近年来新材料、微电子的发展，各种光电薄膜、磁性薄膜以及电子薄膜在这些高新技术领域广泛应用。高新技术产业的发展，也让靶材的生产逐渐趋于化。可以说，靶材行业是微电子产业的关键支撑。
高纯金靶材的生产工艺为:铸锭（感应电溶解电子束熔炼法连续铸造）→→成型（锻造→热轧或
冷轧→拉伸）→→热处理（均质化，再烧结）→→精密机械加工（切削，铣，车，磨，刨）→→
与背板结合（软焊，扩散焊）→→检测（超声波，X光射线探
