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高纯氩，纯度高达99.99的稀有气体，在半导体制造中扮演着的角色。在晶圆制造的刻蚀环节，高纯氩作为保护气体，能有效防止晶圆表面氧化，确保电路图案的转移。此外，高纯氩还用于清洗和吹扫，去除杂质，提升芯片良率。随着半导体工艺不断精进，对高纯氩纯度的要求也日益严苛，其重要性不言而喻。同时，氩气还能有效防止食品氧化，保持食品的色泽、风味和营养成分。例如，在坚果、薯片等易氧化食品的包装中充入高纯氩气，可以防止食品变味、变质，保持其酥脆口感。高纯氩气保鲜技术具有安全、环保、等优点，在食品工业中具有广阔的应用前景。在薄膜沉积过程中，高纯氩气作为载气和保护气，将反应气体输送到反应腔室，并形成稳定的等离子体环境，确保薄膜均匀沉积。同时，氩气还能有效防止晶圆表面氧化，提高薄膜质量。在刻蚀工艺中，高纯氩气则用于产生高能离子，对晶圆表面进行刻蚀，形成所需的电路图案。氩气的化学惰性使其与晶圆材料发生反应，保证了刻蚀的精度和一致性。高纯氩气的使用注意事项：1、封闭式工作：封闭运行可提供良好的自然通风条件，接受培训严格遵守操作规程，防止气体泄漏到车间空气中；2、运输过程中应轻拿轻放，以免损坏气瓶及附件，配备泄漏应急处理设备；3、高纯度氩是一种高压气体，储存在无色、无味、的未燃烧气瓶中；4、如果其含量增加，氧含量低于19.5%将导致窒息，配备自吸呼吸面罩；5、本产品为高压充电气体，需减压后方可使用；6、包装气瓶具有使用寿命：过期的气瓶送部门进行检查，请继续使用；7、每个气瓶使用尾气时，瓶内残余压力为0，保持在5MPa，至少为0.5MPa，残余压力不得低于25MPa。应关闭瓶阀，以确保气体质量和使用；8、氩气在运输、储存和使用过程中，应分类堆放，严禁堆放可燃气体和燃烧气体，不要靠近火焰和热源，不要沾上油蜡，不要晒太阳，不要再扔，不要碰撞，不要在气瓶上产生电弧或电弧，严禁野蛮装卸。在焊接、切割等作业中，高纯氩气作为保护气体，可以有效防止火灾和爆炸事故的发生。在化工生产中，高纯氩气可用于置换和吹扫，以防止可燃气体和有毒气体的泄漏。此外，高纯氩气还可用于消防领域。氩气灭火剂具有灭火效率高、无污染等优点，适用于扑灭电气火灾、精密仪器火灾等。高纯氩气处置储存：氩气可在低于-184℃的温度下以液态形式储存和运送，但焊接用氩气大多装于钢瓶中使用。氩气瓶是一种钢制圆柱形高压容器，其外表面涂成灰色并注有绿色“氩”字标志字样。氩气瓶在使用中严禁敲击、碰撞、瓶阀冻结时，不得用火烘烤；不得用电磁起重搬运机搬运氩气瓶；夏季要防日光暴晒；瓶内气体不能用尽，返厂氩气瓶气余压力应不小于0.2MPa；氩气瓶一般直立放置。
