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关 键 词:南宁EDS能谱分析公司
行 业:咨询
发布时间:2025-06-29
优尔鸿信检测实验室配有场发射扫描电镜、钨丝灯扫描电镜、FIB聚焦离子束、工业CT、超声波C-SAM等电子元件及半导体检测设备,可针对电子元件,半导体部件进行质量检测和失效分析服务。场发射扫描电镜(FE-SEM)是一种高分辨率的电子显微镜,广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术等领域。工作原理电子源:FE-SEM使用场发射电子源,通过强电场从尖锐的钨针尖或单晶LaB6发射电子,产生高亮度、高相干性的电子束。电子束聚焦:电子束经过电磁透镜系统聚焦,形成细的探针,扫描样品表面。信号检测:电子束与样品相互作用,产生二次电子、背散射电子等信号,探测器接收这些信号并形成图像。主要特点高分辨率:FE-SEM的分辨率通常可达1 nm以下,能够观察纳米级结构。高放大倍数:放大倍数可达百万倍,适合观察微小细节。多种信号模式:除了二次电子成像,还可以进行背散射电子成像、能谱分析(EDS)等。样品准备导电性:非导电样品需要镀金或碳等导电层,以避免电荷积累。尺寸:样品尺寸需适合样品台,通常不超过几厘米。干燥:生物样品通常需要脱水处理,或使用低温冷冻技术。应用领域材料科学:观察材料的微观结构、表面形貌、晶体缺陷等。生物学:研究细胞、组织、微生物等的超微结构。纳米技术:表征纳米颗粒、纳米线、薄膜等纳米材料的形貌和尺寸分布。测试步骤样品准备:根据样品性质进行适当的预处理。装载样品:将样品固定在样品台上,确保稳固。抽真空:将样品室抽真空,通常低于10^-5 Pa。调整参数:设置加速电压、束流、工作距离等参数。扫描成像:选择合适的区域进行扫描,获取图像。数据分析:对图像进行分析,提取所需信息。注意事项样品污染:避免样品污染,保持样品室清洁。参数优化:根据样品特性优化测试参数,以获得图像质量。安全操作:遵循设备操作规程,确保安全。通过FE-SEM测试,可以获得样品表面的高分辨率图像和丰富的微观结构信息,为科学研究和技术开发提供重要支持。扫描电镜原理:扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面,激发出样品表面的物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息,可对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察和成分分析。扫描电镜测试项目:SEM:形貌观察,利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像。EDS:成分分析(半定量),通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。样品要求:1.试样为不同大小的固体(块状、薄膜、颗粒),并可在真空中直接进行观察。2.试样应具有良好的导电性能,不导电的试样,其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜扫描电镜的运用:扫描电镜相关测试常和切片技术结合一起做相关测试,如:IMC观察锡须观察表面成分分析异物分析微观尺寸量测金属镀层/涂层厚度检测制样步骤取样尺寸限制:样品体积不宜过大,以减少不必要的观察量。前处理干燥:对含水或湿润的样品进行干燥处理。除尘去屑:样品表面的灰尘和碎屑,以免影响观察效果固定/制样通过固定处理保持样品的原始形态和结构,或者通过灌胶(微小样品)等方式固定样品。清洗样品的表面残留和其他杂质,如超声波清洗法。喷涂导电层增强样品的导电性,确保扫描电镜观察时电子束的正常路径,避免电荷积累和放电现象导致的图像不清晰。在真空条件下使用离子溅射仪喷涂一层金属导电膜(如金、铂、碳等),厚度一般根据扫描电镜类型和观察需求确定。上镜观察将准备好的样品放入扫描电镜中进行观察和分析。应用领域:透射电镜主要用于材料科学、物理学、化学等领域的研究,如半导体、陶瓷、金属等材料的微观结构分析。扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)总结:透射电镜和扫描电镜在结构和原理上有很大的区别,前者具有高分辨率和对样品内部结构的分析能力,后者则适用于表面形态和结构的观察。在实际应用中,根据研究目的和样品特性选择合适的电镜类型是重要的。扫描电镜的测试项目涵盖了从形貌观察到成分分析、从微观结构到三维重建的多种功能,广泛应用于材料科学、生物学、地质学、纳米技术等领域。根据具体需求,可以选择合适的测试项目进行分析。