菏泽真空规 356 Micro-Ion Plus
价格:面议
BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。
所有机组均提供用于指示低真空水平的设定点.并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器.可实现明亮的3位瞬时测量显示。
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
内置显示器的一体式主动式测量仪,2 个设定点,4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置校准和操作
4 个可选的模拟输出信号(3 个用户可选,1 个默认)
出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
用户可编程的设定点继电器(工厂根据量订单的要求预设)
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准:CE、RoHS
直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)
特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr
单校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用,抗和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉