湖北探头 392 Micro-Ion Plus
价格:面议
Stripe™ CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和特的速度性能, 可实现提升的生产力, 使其成为同类产品中的真空仪器。
特点
方便的 ATM 和 HV 按键调整,节省空间的坚固结构,铝制外壳,任何方位安装,不锈钢的真空测量室
易于集成的对数讯号输出,10bar过压, 用螺纹连接,250°C 烘烤型选项,腐蚀性应用的镍丝,陶瓷馈入件用于极强腐蚀性的应用中(PSG510 和 PSG512)
可选设定点
RoHS 认证
应用
前级真空测量(低真空测量),真空系统回路,电离真空计连锁应用,测真空的一般应用
特点
压力范围测量宽:从大气压至10-4Torr(10-4mbar,10-2Pa)
在大气压端可进行和可重复的相对压力设定
结构紧凑、坚固耐用、抗射频和噪音模块符合CE认证
RS-485和DeviceNet机型包括一个可选的本地显示器
ASG隔膜真空计
Edwards ASG2是坚固、防腐蚀的隔膜真空计,可进行与气体无关的准确测量,范围从 2000 mbar 到 1 mbar 以及 1000 mbar 到 1 mbar。它可用作立的传感器,便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案,满足其真空设备的需求。另外,它还可以连接到 TIC 仪器控制器,与其他很多类型的传感器结合使用,提供全面的真空仪器解决方案。
特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉