揭阳真空规 354 Micro-ion
价格:面议
Cube™ CDGsci
INFICON Cube 电容式隔膜仪是的(≤ 0.025 % Rd 的准确度;≤ 50 ppm FS 的可重复性)和稳定的真空仪表(< 5 ppm FS/ °C 的温度稳定性;< 70 ppm FS/年的长期稳定性)。Cube 设计用作对真空测量系统进行标准化的纯粹参比装置,是真空研究的选择。成熟的 INFICON 控温、防腐蚀超纯陶瓷传感器是 Cube 出色性能的心脏。凭借 20 位模拟输出和通过无线或有线以太网接口连接的 RS232-C、TCP/IP 以及 HTML 数字输出,Cube 建立了现代通信和用户灵活性的新标准。每个设备都随附有质保证书,并由 Cube 的主导产品研究员亲笔签名。装在可重复使用的硬壳手提箱中交付以便于存储或运送到校准实验室,进一步印证了其性。
特点
性能优越,优良的零稳定性和准确性
集成的双设定值增强控制
紧凑型到加热型,应有尽有
低拥有成本
零维护
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言, WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是,如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多,Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计,因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
GP500冷阴极真空计采用了和现代设计技术,在宽压力范围内提供高可靠性和长寿命的真空测量。模块化设计将仪表和控制电路集成在一个紧凑的模块中。
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
内置显示器的一体式主动式测量仪,2 个设定点,4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置校准和操作
4 个可选的模拟输出信号(3 个用户可选,1 个默认)
出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
用户可编程的设定点继电器(工厂根据量订单的要求预设)
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准:CE、RoHS
直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜,这抑或出于美观考虑,抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行,此时需要连续地真空状态,以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷,例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等,旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关