内江真空计 347 Stabil-Ion
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BAG402 中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在*、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流,延长了维修间隔和真空计寿命
结构极为紧凑,采用凹进式电气接头
易于维修;皮拉尼和磁控管元件均可以单更换
综合性故障模式诊断装置
Convectron ATM模块有模拟量、RS485或DeviceNet的输出形式可选。
Edwards WRH热阴极宽量程测量仪提供了从大气压到10E-10mbar的测量能力,具有很高的准确性和重复性。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程