BPG400 大气压至超高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在*、可重复的过程中进行基础压力测量。
可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS
特点
电子模块与规头合并在一起，简化了系统设计并节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +12 到 +32 V 的标准直流电，可承受电压波动
标准的模拟输出为 0 到 10 V 直流电，方便连接到计算机或 PLC
高精度和稳定性。精度为 ±0.2 全刻度，稳定性为 0.1% 全刻度
防腐蚀，设计坚固，暴露于真空中的材料是不锈钢 316 L 和哈氏合金 C276
机箱分级为 IP65
压力测量与气体类型完全无关，使这种真空计十分适合于使用氮气以外的气体的应用
出色的高压分辨能力，即使在接近大气压力时也能够分辨 1 mbar 的系统压力变化，使之十分适合于大型的慢抽速系统
Edwards WRG宽量空计 系列从大气压到 10-9 mbar 的全量程压力测量，并且提供线性输出。紧凑型的设计，所需空间和连接硬件均减少了一半，这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点，包括新的放电器、按钮校准、设定点控制和全面的诊断功能。WRG 是经济的真空测量解决方案，支持模拟电压输出，nWRG支持RS232和RS485，可以与 Edwards TIC 真空计控制器一起使用也可以直接集成到系统控制中。
INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计，MPG400 和 MPG401，测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关
