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激光光束的理想位置和角度由一个或两个探测器定义。对于探测来说，通过-反射镜透过或者分光片分出的一小部分激光功率就足够了。闭环控制器连续确定激光光束与目标位置的偏差。该系统连续驱动压电镜架到所需的位置，以补偿偏差。 一个典型的设置如上图所示，其中使用两个压电镜架和两个探测器-在四个维度(4D)上-稳定光束。在此设置中，第一级的压电镜1 / 探测器1-在压电镜2上保持稳定位置。然后，第二级的压电镜2/ 探测器2保证应用处的正确的光束角度。 系统介绍 优势： ◆该系统能确保总是有一个稳定的光束位置和方向 ◆确保准直随着时间的推移始终保持稳定 ◆精度优于0.1 μm / 0.1 μrad ◆只需将组件插入到光路中，无需在重新调整过程中花费时间 特点： ◆模拟的闭环控制，没有延迟和数字化步骤，速度更快、精度更高。 ◆一键式开关，不需要参数设置，也可以不需要用电脑来通过软件来控制，使用快速且简单 ◆可以不需要-分光片，因为可以利用反射镜本身透过的一小部分激光来探测 ◆易于集成到现有的光路系统中- ◆镜架是纯压电驱动的，不会出现因电机启动导致的跳变现象，稳定性更高 ◆体积小巧紧凑 性能规格： ◆所有波长:190nm ~ 3000μm，包括太赫兹波段(标准探测器波长范围:320nm ~ 1100nm) ◆所有重复频率：从单脉冲到cw所有脉冲持续时间(as, fs, ps, ns，…) ◆大动态范围：可选WID检测器，强度变化系数>1000 ◆高速控制:连续信号处理，无采样延迟 ◆分辨率/精度:<0.1 μm;<0.1 μrad(小至10 - 100 nm) ◆镜面直径:0.5至4英寸(根据要求提供其他尺寸) 自带功能： ◆功率水平和位置直接显示在探测器的背面 ◆增益可调 ◆各种信号输入和输出 ◆手动粗调镜座 可选选项： ◆用于单激光脉冲或低重复率应用的采样保持电路 ◆目标位置可调 ◆真空组件，低至10-11mbar ◆外部触发，Rs232接口 系统的组成部分 宽带探测器 Si4-QD PSD Wide-intensity4-QD 波长范围 320-1100 nm 有效面积 10x10 mm2 9x9 mm2 10x10 mm2 产品特点 最高的横向分辨率 目标位置可调 高动态强度因子>1000 特殊探测器 UV 4-QD IR 4-QD IR 4-QD Pyroelectric Si PIN InGaAs Germanium 4-QD 波长范围 190-1000 nm 900-1700 nm 800--2000 nm 0.1-3000 μm 有效面积 3 x 3 mm2 Ø = 3 mm Ø = 5 mm 9 x 9 mm2 产品特点 sensor for UV lasers sensor for NIR lasers sensor for NIR lasers UV, vis, IR sensor 压电镜架 UV 4-QD IR 4-QD IR 4-QD Pyroelectric Si PIN InGaAs Germanium 4-QD 波长范围 190-1000 nm 900-1700 nm 800--2000 nm 0.1-3000 μm 有效面积 3 x 3 mm2 Ø = 3 mm Ø = 5 mm 9 x 9 mm2 产品特点 sensor for UV lasers sensor for NIR lasers sensor for NIR lasers UV, vis, IR sensor 可以定制真空的系统
