VSA200 绝压开关
INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空，包括压力联锁。开关有两种版本：绝压型（基准为真空）或差压型（基准为环境）。
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
特点
涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围
得益于紧凑设计而实现的节省空间安装
复合形式的真空测量，成本效益比
由于集成电子驱动单元，应用范围广泛
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化
VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼
应用实例
液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。
挑战
为确空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏，需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。
解决方案
使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接，以便检测真空的状态。
应用领域
服务与维护
低真空泵的检测
真空干燥
真空离心机
冷却冷冻技术
