枚页式显影机（非标设备）

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关 键 词：半导体清洗设备

行 业：电子 电子产品制造设备 半导体设备 

发布时间：2009-02-12

一．	枚页式显影机（非标设备）
?	型号：CSE—LP—012
?	用途：主要应用于大尺寸液晶面板之显影工序；
?	可显影玻璃基板尺寸（MAX）：1900 mm× 2200 mm，厚度为0.3—1.1 mm；
?	运作方式:全自动;
?	具有封闭的显影工作腔。配备排风系统，避免所用药液挥发对使用人员和环境造成危害；
?	显影液、定影液采用浸润式(puddle)与光刻胶反应。同时设备还需具备喷淋式(spray)显影的能力。浸润式与喷淋式两种显影模式可以相互切换使用，切换过程简单可行。
?	显影系统：设备配备两路显影液供给系统。可以用于不同光刻胶的显影。并能保证这两路显影系统能够交替使用；
?	定影系统：设备配备两路定影供给系统。其中一路定影液供给系统提供Di-Water。另一路定影液供给系统用于提供专用定影液，配备有SUS316L的不锈钢压力罐以及适用于有机溶剂的管路，用于储存和配送定影液
?	对于显影液，具有恒温保护功能，温度控制分辨率达到1 ℃，控温精度达到±1 ℃。
?	具备喷液喷液时间0.1-999.9 s 可连续调解，调节精度为0.1 s；
?	设备具有防溅、废液收集功能。如果采用容器收集废液需配备液面监测器；
?	清洗维护：提供实用且简单易行的显影腔室清洗方案。