石家庄真空计 274 Bayard-Alpert
价格:面议
BAG051 属于电阻式脱气 (I2R) 祼电离真空计,能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。
特点
从高真空到大气压的连续压力测量
大气压端的精密的相对压力测量
不需要单的大气压力检测开关
不需要三种不同的传感器
双电离规灯丝延长了设备的无故障运行时间
自动点亮和关闭电离规
可选远程控制设定点输出继电器
现在可更换规管组件
模拟量、RS-485或DeviceNet输出可供选择
可选LCD文本显示器
特点
电子模块与规头合并在一起,降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供别的抗扰性,并允许使用长电缆(长可达 100 m)
低磁场型 XL 适用于敏感性应用,例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
已获 CSA C/US 认证
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
应用
前级真空测量
真空系统
电离真空计连锁应用
一般真空应用
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉