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Profilm3D白光干涉轮廓仪 *-高精度 Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用最先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。 标准配置 1、自动XY移动平台 2、100mmx100mm移动范围 (Profilm3D) 3、200mmx200mm移动范围(Profilm3D-200) 4、100mm自动聚焦范围 5、4孔物镜转台 6、+/-5°水平可调样品台 7、业界领先的500um压电陶瓷行程 8、业界领先的10倍物镜下2mm视场范围 参数: Profilm3D XY样品台移动范围:100mm x 100mm 样品最大宽度:265mm 设备尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm 设备重量:15kg 参数: Profilm3D-200 XY样品台移动范围:200mm x 200mm 样品最大宽度:365mm 设备尺寸,WxDXH:406mm x 406mmx550mm 设备重量:22kg