PGE050 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。PEG050 采用相同的传感器技术，与 VGC031 和 VGC083 被动仪表控制器装置结合，可在 100 至 1000 mbar 的测量范围内获得相同的高准确度读数。由于测量范围更广且准确度更高（尤其是在低压条件下），因此 PGE050 是替代真空系统中的热电偶仪表时的。坚固的仪表和传感器设计使 PGE050 成为高/低拥有成本的选择，并且使该仪表适合众多需要低真空度真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。
真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设定点和两个 LED，LED 可指示设定点和真空计的状态。
Barocel 7025M
对于需要测量却预算有限的情况，7025M是合适的量规。基于与Barocel 7000压力表相同的原理，它具有陶瓷传感技术和出色的零稳定性。是体积更小、更经济的解决方案。
Barocel 7025M
可重复的高性能，这是在广泛的应用范围内标准的仪表。7025具有很高的度，有多层内部保护; 挡板、涂层和防护装置等标准配置，具有良好的零点稳定性，以及任意方向安装。
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。
Active 系列提供各类型的真空计，该系列真空计基于各种测量原理进行工作，并具有传统的模拟输出，该系列涵盖从超高真空到超压的相关真空范围。真空计的输出电压，与压力成正比，可以在三个控制器上显示为压力或通过模拟输入读入进行远程操作。每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得性价比。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
