宽范围真空计
INFICON 大量空计设计紧凑,具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量,而超高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得性价比。
特点
可靠,经典的规管设计
宽范围的发射电流(100μA至10mA)
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB(电子轰击)除气。
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用,能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar(10⁻¹⁰ 至 1125 Torr)的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。
所有机组均提供用于指示低真空水平的设定点.并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器.可实现明亮的3位瞬时测量显示。
特点
电子模块直接安装在压力计管件上,简化了系统设计,节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,可承受电压波动
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC,并提供故障输出指示
具有真空状态 LED 的可调整设定点可以用于制程控制和联锁,它包括数字真空状态信号,可以直观查看设定点读数
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供别的抗扰性,并允许电缆长度达到 100 m
中压和低压压力计管件的选择。ATC-D 涵盖 50 到 5 x 10-2 Torr,而 ATC-M 涵盖 1 到 10-3 Torr
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障,并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作,需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力,例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时,它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下,真空计被用作数据记录器,在它的内存中存储测量值。通过USB接口,数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量保障
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设备