PGE500 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。由于对流的物理性质，这种皮拉尼型产品在 100 至 1000 mbar 的测量范围中可达到更高的准确度。坚固的仪表和传感器设计结合多种工厂内置功能，例如明亮、流畅而清晰的 OLED 显示器及集成键盘、RS485/RS232 数字接口和 4 种可选模拟输出信号，使得 PGE500 成为高/低拥有成本的选择。所有这些特点使该仪表适合众多需要低真空度真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
VD83 100 到5x10-4mbar 皮拉尼
VD84 100 到1x10-3mbar 外置皮拉尼
应用实例
液态气罐的真空绝缘保护了液态气免受环境热的影响。真空封装有效地隔绝了气罐和它的外部环境间的热传导。
挑战
为了确保绝缘功能的正常以及当气罐或其外壳发生泄漏时及时被侦测到，需要定期检测绝缘的真空状态。真空绝缘失败将会带来气体升温的风险，并导致危险的压力上升。
解决方案
用带可拆卸传感器探头的VD84真空计可以方便而快速地检测气罐中的绝缘真空。每个气罐配备一个单的传感器，它固定在绝缘封装中。真空计可以定期地与传感器连接，以检测内部的真空状态。
应用领域
服务和维护
低真空泵检测
真空干燥
真空离心机
冷却和冷冻技术
VD81 1600到1mbar 陶瓷薄膜传感器
应用实例
真装可以增加食物的保存时间3到5倍。包装过程是先抽真空然后再密封。
挑战
包装机器是否运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足够时，食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到地保存。
解决方案
为了检查包装的性能，可以定期地将一个由电池驱动的VD81替代食物进行真空密封。在包装过程中，VD81存储其获得的小压力值，当它被拿出包装设备后，可以显示该小压力以便检测。
应用领域
真空设备的安装和检测
分析仪器
化工工程
作为机械和压力计的替代品
真空炉
所有机组均提供用于指示低真空水平的设定点．并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器．可实现明亮的3位瞬时测量显示。
Granville-Phillips的275 Mini-Convectron模块提供从大气压到10E-4Torr跨越七个数量级的真空压力测量。有模拟量输出型、R8485输出接口型及Device Net输出接口型(在另外的样器中介绍)可选。基本型带有可调的设审点爆电器允许你控制真空工艺的其他功能或是实现安全互锁。数显型带有明亮的三位数字显示可以实时显示现场压力测量値。带有方便的线性模拟量输出信号的版本也是可选的。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
