池州真空规 390 Micro-Ion ATM
价格:面议
宽范围真空计
INFICON 大量空计设计紧凑,具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从超高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术,可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量,而超高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合,以在整个真空范围内获得性价比。
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053,灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择,与Inficon VGC083一起使用;也可兼容其他厂商同类型控制器一起使用。
AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计,在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出,nAIM支持RS232和RS485信号输出,易于与计算机或 PLC 结合使用。
应用
前级真空测量(低真空测量)
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
应用
ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的测量时的出色选择,十分适合于负载锁定这样的应用中。
它可用作立的传感器,便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案,满足其真空设备的需求。另外,它还可以连接到 TIC 仪器控制器,与其他很多类型的传感器结合使用,提供全面的真空仪器解决方案
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉