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关 键 词：上海重庆哈尔滨氢气炉
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发布时间：2009-01-07
我们供成都杭州温州光刻机四川南光泵业有限公司
四川南光泵业有限公司是在国企改制过程中由原百年老军工企业-成都国营南光机器厂的部分中青年高级工程师、高级技师、及生产骨干重新组合后成立的一家新型公司。公司董事长:陈宝融,总经理:刘丹毅
公司专业从事系列精密光刻机、氢气炉、真空炉、超高真空排气台、真空干燥柜.真空镀膜机、真空泵及真空机组的设计、制造和销售。驻杭州办事处：0571-63770986
一、适用范围
适用于Φ150mm以下，厚度为5mm以下各种基片的光刻。（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片
二、主要技术参数：
1、适用于Φ6"、Φ5"、Φ4"基片，基片厚度0～5mm均可。
2、采用多点光源曝光头，最大输出光束≥Φ160mm；光束不均匀性≤±7%，（Φ150mm范围内）。
3、光源采用350W直流汞灯。
4、版、片对准精度±0.5μm。
