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晶圆化学镀工艺是一种常用的半导体后端工艺,用于在晶圆表面形成金属层。下面是对晶圆化学镀工艺的介绍:工艺过程:准备晶圆:首先,在晶圆上进行清洗和处理,以确保表面的干净和平整。涂覆光刻胶:将光刻胶涂覆在晶圆表面,形成一层保护层。光刻:使用光刻技术,在光刻胶上绘制所需的图案。曝光:将光刻胶暴露在紫外线下,使其在曝光区域发生化学反应。显影:通过显影过程,去除未曝光区域的光刻胶,暴露出晶圆表面。化学镀:将晶圆浸入含有金属离子的电解质溶液中,通过电化学反应,在晶圆表面沉积金属层。清洗:清洗晶圆,去除残留的光刻胶和其他杂质。检测和测试:对镀层进行检测和测试,以确保其质量和性能。选择江苏芯梦化学镀设备,让你的生产更加智能化、自动化!山东国产ENEPIG化学镀
镍钯金化学镀设备通常由以下几个主要组成部分组成:清洗和表面处理单元:该单元用于对待镀物进行清洗和表面处理,以去除污垢、氧化物和其他杂质,并确保表面准备良好。镀液槽和泵浦系统:包括镀液槽和相应的泵浦系统,用于容纳和循环化学镀液。镀液槽通常由耐腐蚀材料制成,并具有适当的尺寸和形状以容纳待镀物。电源和电解池:电源用于提供所需的电流,并将电流引导到电解池中。电解池是放置待镀物的区域,其中包含化学镀液。通过电解作用,金属离子被还原并在待镀物表面形成金属镀层。控制系统:化学镀设备通常配备一套控制系统,用于监测和控制关键参数,例如温度、电流、镀液浓度等。控制系统可确保镀层的均匀性和一致性,并提供操作者对镀液条件进行调整的能力。排放和废液处理系统:为了符合环境法规和安全要求,镍钯金化学镀设备通常配备废液处理系统,用于处理和处理使用过的镀液和废液。广东本地化学镀供应商家江苏芯梦是您身边专业的化学镀设备制造商!
化学镀设备参数:
晶圆厚度:>50微米;
泰科环:2~3毫米;
晶圆沉积:晶圆F面:70~80%晶圆B面:100%;
沉积金属:镍/把/金厚度:3/03/0.03~0.05um;
整机尺寸:约9300mm(L)×2350mm(W)×2700mm(H);
操作台面高度:950±50mm;
兼容12inch与8inchwafer;
全自动运行,foupin-foupout;
dryin-dryout;
不锈钢SUS316骨架,包覆NPP,结实且耐腐蚀*工控机+PLC控制,系统稳定;
Windows操作系统,简单方便;
具备自动添加功能;
应用领域:
微电子产品封装,TSV,RD
ENEPIG(ElectrolessNickelElectrolessPalladiumImmersionGold)是一种常用的表面处理技术,用于印制电路板(PCB)制造过程中。它由三个层次组成:化学镍(ElectrolessNickel)、化学钯(ElectrolessPalladium)和浸金(ImmersionGold)。ENEPIG技术在PCB行业中得到广泛应用,因为它具有许多优点。以下是ENEPIG设备介绍的一些关键信息:工艺流程:ENEPIG的制程流程与化学沉金(ENIG)类似,但在化学镍和化学金之间加入了化学钯槽。这个工艺要求控制好钯槽和金槽,确保钯层的沉积速度稳定和均匀。优点:高可靠性:ENEPIG具有比ENIG更高的可靠性,因为钯层可以防止镍和金之间的相互迁移,减少了焊锡性能的变化。防止黑镍问题:ENEPIG可以有效防止“黑镍问题”的发生,即晶粒边界腐蚀现象。适用于多次无铅再流焊循环:ENEPIG能够抵挡多次无铅再流焊循环,提高了焊接的可靠性。适用于多种封装元件:ENEPIG适用于各种封装元件,如SSOP、TSOP、QFP、TQFP、PBGA等。镀层厚度:ENEPIG的镍层厚度一般为2.00μm~5.00μm,钯层厚度为0.10μm~0.20μm,金层厚度为0.03μm~0.05μm。芯梦化学镀设备操作简便,维护方便,降低你的生产成本!
镍钯金化学镀设备通常包括以下几个处理腔体:镍缸腔体:镍缸腔体是用于容纳镍缸的部分,它是一个容器,通常由耐腐蚀材料制成,如不锈钢。镍缸腔体用于容纳镍盐溶液和工件,以进行化学镀镍的过程。镍盐溶液处理腔体:镍盐溶液处理腔体是用于储存和供应镍盐溶液的部分。镍盐溶液是化学镀镍过程中的关键成分,它提供了镍离子,用于在工件表面形成镍层。镍盐溶液循环系统:镍盐溶液循环系统是用于循环和过滤镍盐溶液的部分。它通常包括泵、过滤器和管道等组件,用于将镍盐溶液从镍缸腔体中抽取出来,经过过滤后再回流到镍缸腔体中,以保持溶液的稳定性和纯度。清洗腔体:清洗腔体是用于清洗工件的部分。在化学镀镍过程中,工件可能需要在不同的步骤中进行清洗,以去除表面的污垢和残留物,以确保镀层的质量和附着力。控制系统腔体:控制系统腔体是用于安装和操作化学镀设备的控制系统的部分。它通常包括控制面板、电源、传感器和仪表等组件,用于监测和调节镀液的温度、pH值、电流和电压等参数,以确保化学镀过程的稳定性和一致性。江苏芯梦的化学镀设备具有多种智能功能,助你轻松应对生产挑战!山西晶圆化学镀设备
芯梦化学镀设备具有灵活的生产模式,满足你的个性化需求!山东国产ENEPIG化学镀
ENEPIG是一种用于表面处理的镀层技术,它是指ElectrolessNickelElectrolessPalladiumImmersionGold(无电镀镍-无电镀钯-浸金)的缩写。这种镀层技术主要用于印制电路板(PCB)和其他电子元器件的表面处理。ENEPIG镀层技术具有以下特点:高质量:ENEPIG镀层能够提供非常均匀的金属镀层,保证了PCB表面的平整度和电气性能。耐腐蚀:镍和钯层提供了良好的耐腐蚀性能,保护PCB表面免受氧化和腐蚀。良好的焊接性能:ENEPIG镀层在焊接过程中具有良好的湿润性,有利于焊接工艺的进行。可靠性:ENEPIG镀层提供了良好的可靠性,能够满足高要求的电子元器件的使用环境。山东国产ENEPIG化学镀