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提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗,并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;高效干燥技术,AMC化合物去除技术全生产过程实时监控,兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300,符合SEMIS2、S8标准高产量,占地面积设计。
我们的晶圆盒清洗机配备了高精度的传感器和控制系统,能够精确控制清洗和干燥的时间和温度,确保清洗和干燥的效果稳定可靠。同时,我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能,能够自动识别晶圆盒类型,自动调整清洗和干燥的参数,提高生产效率。操作简单,维护方便,降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机,让您的晶圆生产更加高效! 选择芯梦的设备,让你的生产过程更加安全、稳定!江苏全自动片盒清洗机规格尺寸
应用领域:主要应用于半导体行业《晶四制造、集成电路、先进封装,整个芯片湿法制程阶段均适用)、化合物行业、片盒制造厂;
适用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圆尺寸产品,可定制清洗从50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本设备采用全自动方式,上料端/下料端可适配工厂自动传检线;将需要清洁的片盒放置在篮管内一传输机构依次将篮管传到一级超声清洗单元一一级喷洗单元一二级超声清洗单元一二级吗洗单元一一级干爆单元一二级干爆单元一下料单元一人工下料或对接工厂自动传输线。 江苏全自动片盒清洗机规格尺寸芯梦半导体专注品质,从不将就!
FOUP清洗机是半导体制造行业中一种关键设备,专门用于清洗和处理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是一种封闭式容器,用于存放和保护晶圆。FOUP清洗机通过自动化的清洗过程,确保FOUP内外的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能,能够去除FOUP内的各种污染物,如油脂、有机物、化学物质残留和水分。它采用先进的清洗技术和工艺参数,如喷淋清洗、超声波清洗、高温处理等,以确保彻底去除污染物,并不会对FOUP造成损害。该设备具有高效性和自动化特点。它能够在短时间内完成清洗过程,提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行,减少人为操作的误差和风险。同时,清洗机通常配备直观的用户界面和操作控制面板,使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。FOUP清洗机还注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构,确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置能够确保操作人员的安全。此外,清洗机通常具有数据记录和追溯功能,方便对清洗过程进行监控和分析。综上所述,FOUP清洗机是半导体制造领域中不可或缺的设备,通过高效、自动化的清洗过程,确保FOUP内外的高纯度和可靠性,为晶圆生产提供重要保障。
产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司,经营各类半导体清洗机,为国内半导体清洗机专业供应商,其中就包含FOUP清洗机。
FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒(SmifFoup、Fosb、Cassette),可以实现良好的清洗和干燥效果。装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360°正反转动。由DIWater的表面张力、机械力进行Particle清洗,离心+热风进行烘干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。
设备特点:
●多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽;
●含有自动执行状态显示,快速检视状态及工作时间;
●扭力侦测转篮卡榫未定位保护,降低因人为导致设备损坏;
●主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制;
●旋转式离心清洗,可正反调速旋转,清理产品表面的附着残留;
●以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留;
●采用流体(二流体选项)的清洗模式,能有效的去处微小的污染物;
●操作程序PLC控制可按作业需求自由调整,方便快捷,人性化设计。
应用范围:
该设备主要用于半导体制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗。
江苏芯梦的设备操作简便,适用于各种生产场景,提高效率!
辅助功能和操作控制
触摸屏安装在前面一标准化
也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项
其他特征
工艺腔室内LED灯光照明
可安装去静电装置和电阳率监测装置选项
稳定、亚光不锈钢笼子
材料的外壳一可选择符合FM4910标准
PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准
设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动
设备前面的滑动门在做维护时可完全打开
其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面
易于操作和控制
10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
选择芯梦设备,让你的生产更加灵活、多样化!中国台湾全自动花篮清洗机
芯梦设备采用高效节能技术,助你节约能源开支!江苏全自动片盒清洗机规格尺寸
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业超25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
江苏全自动片盒清洗机规格尺寸