价格：面议
0
联系人：
电话：
地址：
产品介绍：
全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。
设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求class10/100。
配置多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，
保证制程的高精度清洗需求。
配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。
1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。
3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。
应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
江苏芯梦的设备结构稳固，性能可靠，是你的生产好帮手！重庆半自动片盒清洗机商家
提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗，并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，节能设计;高效干燥技术，AMC化合物去除技术全生产过程实时监控，兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300，符合SEMIS2、S8标准高产量，占地面积设计。
我们的晶圆盒清洗机配备了高精度的传感器和控制系统，能够精确控制清洗和干燥的时间和温度，确保清洗和干燥的效果稳定可靠。同时，我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能，能够自动识别晶圆盒类型，自动调整清洗和干燥的参数，提高生产效率。操作简单，维护方便，降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机，让您的晶圆生产更加高效！ 黑龙江半自动片盒清洗机报价芯梦设备具有高度定制化功能，满足你不同生产需求！
全自动FOUP清洗机
特征和优点：
可应用不同化学品(稀释剂)来清洗；
泵传输清洗液；
计量调整可通过软件设置控制操作；
热水喷淋装置；
热水一般由厂务供应一标准化；
或有一个体积约100升的热水预备槽(循环泵和加热棒用于热水预备槽选项)
图形化的界面：
易于操作和控制；
10“触摸屏PLC控制器；
SECSIIGEM接口一选项>授权访问的密码保护；
可以编辑40多个菜单，每个菜单可有50步；
可变量数据输入(时间、温度、速度等)；
设备背面安装第二个触摸屏一选项；
FOUP的干燥步骤旨在将其表面的水分完全去除，以确保FOUP在后续的半导体制造过程中不会引入水分造成污染或其他问题。以下是一般的FOUP干燥步骤：静置排水：在冲洗步骤之后，FOUP可能会经过一段时间的静置，以让水自然排出。FOUP通常被放置在倾斜或垂直的位置，以便水能够从FOUP底部排出。喷气干燥：为了加速干燥过程，FOUP清洗机通常配备了喷气装置。喷气装置会通过向FOUP表面喷射干燥的气流，将水分蒸发。气流可以是压缩空气或氮气。喷气干燥的时间和气流的强度可以根据需要进行调整。热风干燥：有些FOUP清洗机还配备了热风干燥功能。在喷气干燥之后，FOUP可能会进入一个热风室，其中通过加热空气或氮气来加速水分的蒸发。热风干燥可以更彻底地去除FOUP表面的水分。真空干燥：另一种常见的干燥方法是利用真空环境。FOUP可能会进入一个真空腔室，其中通过创建负压，使水分在低压下蒸发。真空干燥可以提供更快速和彻底的干燥效果。气流净化：在干燥过程中，清洗机通常会通过高效过滤器和空气净化系统提供干净的气流环境。这有助于防止新的颗粒进入FOUP，并确保干燥过程中不会引入新的污染物。选择我司设备，让你的生产更加灵活、多样化！
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机
（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）
适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 选择芯梦设备，让你的生产更加灵活、多样化！重庆半自动片盒清洗机商家
芯梦清洗机，是您生产中的理想选择！重庆半自动片盒清洗机商家
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner；
Xtrim-FC-M300/400高速型；
FouPCleaner；
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction：
产品介绍：
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；
在清洗机行业超25年经验；
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；
在上海，苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；
SEMI S2认证；
重庆半自动片盒清洗机商家
芯梦围绕公司价值观，服务、创新、奋斗、分享、团结，始终坚持为客户提供技术创新和质量过硬的自主可控的半导体设备，不断追求质量精益求精和环境友好，先后通过了ISO9001质量管理体系认证和ISO140001环境管理体系认证。我们的全自动ENEPIG化学镀设备、全自动/半自动晶圆盒清洗机、全自动单片清洗机等产品均通过了SEMIS2、S8等国际半导体行业标准认证。近年来，芯梦蓬勃发展，荣获了国家高新技术企业、江苏省潜在独角兽企业、苏锡常首台套重大装备、江苏省企业工程技术研究中心、江苏省三星级上云企业等多项荣誉资质。
