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半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机
（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）
适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 我司设备操作简单，维护方便，降低你的生产成本！中国香港全自动花篮清洗机现货
产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司，经营各类半导体清洗机，为半导体清洗机专业供应商，其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点：五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS（喷头位置/形状，可以根据客户料盒形态针对性调整）、热风烘干HAD（可选配CDA吹干和红外模式）、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等；30~60分钟完成1次清洗工艺，快速实现干进干出；四工位/六工位选择，依不同产品适配的装载量；配备可靠的过滤系统；EN18822-H14高等级空气过滤系统；0.1um超纯水过滤；0.003umCDA过滤。中国香港全自动花篮清洗机现货芯梦半导体专注品质，从不将就！
应用领域：主要应用于半导体行业《晶四制造、集成电路、先进封装，整个芯片湿法制程阶段均适用)、化合物行业、片盒制造厂;
适用于：Shipping boxes，如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圆尺寸产品，可定制清洗从50mm到300mm品愿盒材料；
工作原理：本设备采用全自动方式，上料端/下料端可适配工厂自动传检线;将需要清洁的片盒放置在篮管内一传输机构依次将篮管传到一级超声清洗单元一一级喷洗单元一二级超声清洗单元一二级吗洗单元一一级干爆单元一二级干爆单元一下料单元一人工下料或对接工厂自动传输线。
辅助功能和操作控制
触摸屏安装在前面一标准化
也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项
其他特征
工艺腔室内LED灯光照明
可安装去静电装置和电阳率监测装置选项
稳定、亚光不锈钢笼子
材料的外壳一可选择符合FM4910标准
PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准
设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动
设备前面的滑动门在做维护时可完全打开
其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面
易于操作和控制
10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
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FOUP清洗机广泛应用于半导体制造和相关领域，特别是在FOUP（Front Opening Unified Pod）的清洗和维护过程中。以下是FOUP清洗机的一些主要应用场景：半导体生产线：FOUP清洗机在半导体生产线中扮演着重要的角色。在半导体制造过程中，FOUP用于存储和运输关键组件，如晶圆或掩膜。由于这些组件对洁净度要求极高，因此FOUP需要定期进行清洗和维护，以确保其内部和外部表面的洁净度。FOUP清洗机能够高效、自动化地处理大批量FOUP，并确保其在生产线上的有效性和可用性。实验室和研发环境：在实验室和研发环境中，FOUP清洗机也常被使用。研究人员可能需要对实验样品进行清洗，以确保样品表面的干净和准备下一步实验。此外，FOUP清洗机还可用于研发新的清洗方法和工艺，并验证其效果和可行性。FOUP处理中心：FOUP处理中心是专门为FOUP清洗和维护而设立的设施。这些中心通常服务于多个半导体制造厂商或供应商，并承担大量FOUP的清洗任务。FOUP清洗机在FOUP处理中心中起着关键作用，能够高效地处理大量FOUP，并确保它们的洁净度和可用性。我司设备采用先进的控制系统，确保生产过程稳定可靠！河南半自动FOUP清洗机多少钱
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5大系统结构：
纯水加热PWH、高压喷淋HPS、热风烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。
25组清洗：
工艺配方ProcessFormula，不同的Cassette灵活设定。
EN18822-H14：
高等级空气过滤系统;超纯水0.1um过滤，CDA0.03um过滤。
4寸~12寸全尺寸兼容，快速实现干进干出，30~60分钟完成1次清洗工艺节拍，更大吞吐量。
2仓2基地：
苏州+上海快速响应备件及现场技术服务寿命管理lifecycleManagement配备RFID数据读取和上传功能+SECSGEM200通讯系统，方便客户的数据管理Cassette使用情况 中国香港全自动花篮清洗机现货
江苏芯梦半导体设备有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，江苏芯梦半导体设备供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！
