VSD200 差动开关
INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空，包括压力联锁。开关有两种版本：绝压型（基准为真空）或差压型（基准为环境）。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
ASG隔膜真空计
Edwards ASG2是坚固、防腐蚀的隔膜真空计，可进行与气体无关的准确测量，范围从 2000 mbar 到 1 mbar 以及 1000 mbar 到 1 mbar。它可用作立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案。
应用
ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。
所有机组均提供用于指示低真空水平的设定点．并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器．可实现明亮的3位瞬时测量显示。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
