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功能配置说明:
1.管路配置:压力检测系统、流量检测系统、温度检测系、漏液检测系统;
2.加热系统:闭环温度控制系统、超温切断系统,微曲线加热算法、系统宕机应急闭环系统;
3.真空与N2平衡系统:真空度检测监控保压系统、N2平衡配比净化系统;
4.N2Purge系统:温湿度高速检测系统、平衡FOUP压力与温湿度算法;
5.Robot安全控制系统:设置空间安全虚拟围栏,曲线算法路径;
6.空FOUP检测系统:FOUP物料感知系统,检测FOUP进料状态;
7.RFID数据系统:FOUP实时状态检测。 芯梦的设备节能,符合现代的生产理念,助你降低成本!山东全自动FOUP清洗机商家
江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。
江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护,并获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角曾企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。 天津半自动片盒清洗机怎么收费芯梦产品是市场上性价比的选择,您不会失望的!
FOUP清洗机是用于清洗半导体制造中的FOUP(Front Opening Unified Pod)的设备。FOUP是用于存放半导体晶圆的封闭式容器,在半导体制造过程中起到了关键的作用。FOUP清洗机的主要功能是清洗FOUP,确保FOUP内部的洁净度,以保证半导体晶圆在制造过程中不受到污染。
功能配置:管路配置:压力检测系统、流量检测系统、温度检测系统、漏液检测系统加热系统:闭环温控、超温切断、微曲线加热算法、宕机应急闭环等系统真空与N平衡系统:真空度检测监控保压系统、N平配比净化系统NPurge系统:温湿度高速检测系统、平衡FOUP压力与温湿度算法Robot安全控制系统:设置空间安全虚拟围栏、曲线算法路径空FOUP检测系统:FOUP物料感知系统、检测FOUP进料状态RFID数据系统:FOUP实时状态检测
功能优势:
1.符合SEMI行业标准,兼容自动传输系统(AMHS);
2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境,Class10级微型洁净环境空间;
3.Robot动态曲线搬运,防止交叉污染,FOUP分体清洁,清洁控制系统;
4.设备与腔体工艺化无菌处理,防止细菌滋生;
5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;
6.高效红外干燥技术,AMC控制技术;
7.以高质量,高产量、节能为理念,占地面积设计.
软件功能:
1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;
2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准(国际莱茵TUVSEMI证书).
3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制,PC负责Host通讯与Robot调度,PLC负责各单元功能控制与IO处理.
4.友好的人机界面. 我司设备结构稳固,性能可靠,是你的生产好帮手!
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业超25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
江苏芯梦的设备操作简便,适用于各种生产场景,提高效率!陕西片盒清洗机单价
芯梦设备操作简单,维护方便,降低你的使用成本!山东全自动FOUP清洗机商家
产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司,经营各类半导体清洗机,为半导体清洗机专业供应商,其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机,适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成,高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点:五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS(喷头位置/形状,可以根据客户料盒形态针对性调整)、热风烘干HAD(可选配CDA吹干和红外模式)、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性:4寸~12寸全尺寸兼容,晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等;30~60分钟完成1次清洗工艺,快速实现干进干出;四工位/六工位选择,依不同产品适配的装载量;配备可靠的过滤系统;EN18822-H14高等级空气过滤系统;0.1um超纯水过滤;0.003umCDA过滤。山东全自动FOUP清洗机商家
江苏芯梦半导体设备有限公司专注于为衬底、集成电路和先进封装等领域提供先进湿法制程装备及工艺的解决方案。我们的主要产品涵盖全自动晶圆级ENEPIG化学镀设备、全自动晶圆盒清洗机、全自动单片清洗机、以及单片电镀机等。芯梦始终秉持技术创新的理念,不断攻克创新产品技术,践行在微纳领域用先进技术护家强国的企业使命。我们引以为傲的是国内首台全自动ENEPIG化学镀设备,该设备成功打破了国外的垄断,目前在国内市场占有率超过80%,积累了数十个在国内半导体行业的成功案例。我们还自主研发了国内首台全自动晶圆盒清洗机,成功打破了国外的垄断,并已在国内多家半导体企业中得到广泛应用。