莆田探头 390 Micro-Ion ATM
价格：面议
Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar，新10mTorr
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms，配备 EtherCAT 现场总线接口，开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念，提供冰凉的接触表面和特的速度性能, 可实现提升的生产力, 使其成为同类产品中的真空仪器.
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准：CE、RoHS
直接取代 Granville-Phillips® Convectron® 仪表传感器（相同插头/引脚分配）
(Granville-Phillips®、Convectron® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）
PGE050 可接受 Granville-Phillips® Convectron® 控制器、电缆和模块
（Granville-Phillips®、Convectron® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）
特点
可靠，经典的规管设计
宽范围的发射电流（100μA至10mA）
可与单/双钇丝-涂层铱和双钨丝阴极组件
所有型号都可以使用EB（电子轰击）除气。
应用
前级真空测量（低真空测量）
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
