SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D 压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
从高真空到大气压的连续压力测量
大气压端的精密的相对压力测量
不需要单的大气压力检测开关
不需要三种不同的传感器
双电离规灯丝延长了设备的无故障运行时间
自动点亮和关闭电离规
可选远程控制设定点输出继电器
现在可更换规管组件
模拟量、RS-485或DeviceNet输出可供选择
可选LCD文本显示器
Barocel 7025M
对于需要测量却预算有限的情况，7025M是合适的量规。基于与Barocel 7000压力表相同的原理，它具有陶瓷传感技术和出色的零稳定性。是体积更小、更经济的解决方案。
Barocel 7025M
可重复的高性能，这是在广泛的应用范围内标准的仪表。7025具有很高的度，有多层内部保护; 挡板、涂层和防护装置等标准配置，具有良好的零点稳定性，以及任意方向安装。
特点
压力范围测量宽：从大气压至10-4Torr（10-4mbar，10-2Pa）
在大气压端可进行和可重复的相对压力设定
结构紧凑、坚固耐用、抗射频和噪音模块符合CE认证
RS-485和DeviceNet机型包括一个可选的本地显示器
运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设定点继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者相对压力值。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
