BAG402 中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在*、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用
宽范围的真空测量，可测量2 × 10E-11Torr
成本经济、性价比高
工业标准电极电压和宽范围的发射电流：10uA至10mA
真空行业众所周知的特性特点
离子收集极良好的漏电屏蔽
耐烧型灯丝和真空行业标准接口
所有产品都可以进行EB除气，一些产品还能进行焦耳除气
特点
电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供别的抗扰性，并允许使用长电缆（长可达 100 m）
低磁场型 XL 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
已获 CSA C/US 认证
274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极（阳极）加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
