Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产
特点
涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围
得益于紧凑设计而实现的节省空间安装
复合形式的真空测量，成本效益比
由于集成电子驱动单元，应用范围广泛
长寿命: 冷阴极压力表不需要灯丝，这简化了测量结构，增加了可靠性和寿命，降低了拥有成本。内部保护环减少了关键部件上的污染，并将泄漏电流从测量中隔离。
快速启动: 现场发射启动器提供更快和更可预测的启动时间。
磁铁: 去除简化了仪表安装和烘烤。
挡板: 防止溅射材料进入测量室。
易于维护: 易于拆卸的电子和磁铁, 使烘烤和安装更容易
VSP63 1000到1 x 10-4 mbar 皮拉尼
应用实例
热敏合剂是通过短通蒸馏系统慢慢分离的。在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。
挑战
待蒸馏的合剂是在一个圆柱体锅炉中加热的。该锅炉有一个热充油套管并在真空中加热。在整个蒸馏过程中内部压力必须被严格控制在10-3 mbar，并且需要被记录下来以备质量管理所需。
解决方案
紧凑型真空计VD64P常用于压力管理。可以通过两个干触开关点，控制一个真空阀和一个通风阀。搭配使用外部的真空规VSP63即可靠而又经济地实现真空控制。整个过程可以通过USB接口进行精准归档和记录。
应用领域
工业真空设备
真空炉
机械工程
分析仪器
包装机械
