VSC150A 开关，被动
INFICON 真空开关 VSC150 是一个压力开关，带有 0.5 - 2000 mbar 的可调节电气开关触点。其机械设计允许出现 3000 mbar 的短时高温过载现象，而不会危及 ± 0.1 mbar 的开关准确度。INFICON 可为压力开关提供客户特定调节功能。
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053，灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择，与Inficon VGC083一起使用；也可兼容其他厂商同类型控制器一起使用。
Granville-Phillips的275 Mini-Convectron模块提供从大气压到10E-4Torr跨越七个数量级的真空压力测量。有模拟量输出型、R8485输出接口型及Device Net输出接口型(在另外的样器中介绍)可选。基本型带有可调的设审点爆电器允许你控制真空工艺的其他功能或是实现安全互锁。数显型带有明亮的三位数字显示可以实时显示现场压力测量値。带有方便的线性模拟量输出信号的版本也是可选的。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
