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米铱 optoNCDT 2400位移测量仪器 米铱Micro-Epsilon光谱共焦式精密位移测量系统,是利用光谱共焦的原理,超精度测量各种位置的变化。 传感器探头由光源 和特殊光学透镜组构成,透镜组将光源发射出的多色平行光(白光) 进行光谱分光,形成一系列波长不同的单色光,同时再将其同轴聚 焦,由此在有效量程范围内形成了一个焦点组,每一个焦点的单色 光波长都对应着一个轴向位置。在被测物体表面聚焦的单色光又被 反射到控制器,利用控制器内的光谱分析仪可确定该反射光的波长, 从而确定了被测物体的位置。其独特的测量原理,使它无论对漫反 射表面还是镜面的测量,都可达到纳米级的精度。对透明物体,除 精确测量位置位移之外,还可以单方向测量其厚度。 optoNCDT2400 光谱共焦式位移位置测量系统 线性量程: 0.08 / 0.35 / 1 / 3 / 10 / 24 mm 绝对误差: ≤±0.1 % FSO 分辨率: 0.004 % FSO 测量频率: 30 /100 / 300 / 1000 Hz(可调) 信号输出: 数字显示 及 RS232 光斑直径: 7 - 100 um 典型应用: - 反射面及透明体的位置和位移测量 - 透明体厚度测量 - 钻孔深度测量 - 表面轮廓测量