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米铱MicroEpsilon 位移传感器 capaNCDT 6100 米铱Micro-Epsilon电容系列精密位移传感器的测量，建立在理想化平板式电容原理的基础上，因此对所有导电材料无需特别的线性校准，即可得到高精度的测量结果。通过线性校准后，也可用于对半导体和绝缘体材料的测量。 米铱capaNCDT系列电容式位移传感器的突出优点，是它的超高分辨率和稳定性。其高超的机械加工精度及完美的信号屏蔽措施使capaNCDT达到纳米级的精度． 高精度单通道位移传感器系列 线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm 绝对误差：≤±0.1 % FSO 分辨率：< 0.015 % FSO 频率响应：10Hz/2kHz (-3dB)(可切换） 探头适用温度：- 50℃至+150℃ 温度稳定性：<0.01%FSO/℃
