SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
应用
前级真空测量(低真空测量)
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
500 Cold Cathode
长寿命: 冷阴极压力表不需要灯丝,这简化了测量结构,增加了可靠性和寿命,降低了拥有成本。内部保护环减少了关键部件上的污染,并将泄漏电流从测量中隔离。
快速启动: 现场发射启动器提供更快和更可预测的启动时间。
磁铁: 去除简化了仪表安装和烘烤。
挡板: 防止溅射材料进入测量室。
易于维护: 易于拆卸的电子和磁铁, 使烘烤和安装更容易
VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼
应用实例
液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。
挑战
为确空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。
解决方案
使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。
应用领域
服务与维护
低真空泵的检测
真空干燥
真空离心机
冷却冷冻技术