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产品规格：主要用于半导体行业的测试：器件表征和建模、过程控制
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发布时间：2010-11-17
深圳市易商仪器有限公司专业从事仪器仪表、微波元器件、测试系统的研发、销售、技术服务和系统集成等业务。 M150是性价比最高、结构最为简单的150mm基准的wafer探针台方案，同时具有很高的精确度。优越的应用灵活性使得M150能满足DC和HF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量。M150也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个 探针座。 设备规格： 主机 载物台 最大可到6” 载物台可旋转范围 ±180° 载物台平坦度 <10um 平台面积 1960cm 2 平台可移动范围
