BCG450 大气压至超高真空三合一真空计
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
皮拉尼真空计
INFICON 皮拉尼真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S,采用的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于各类真空系统.
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
特点
全量程的压力测量
包含允许完全控制/监视/修改的软件包
可烘烤至180°C
模拟和RS485输出在同时支持
LED状态灯指标
2个可调设定值
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
