吐鲁番真空计 347 Stabil-Ion
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SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
6个Edwards Active真空计
3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计
1个BAROCEL 7045或7100,2个BAROCEL 7025或7025M,以及任意3个其他Edwards Active真空计
长寿命: 冷阴极压力表不需要灯丝,这简化了测量结构,增加了可靠性和寿命,降低了拥有成本。内部保护环减少了关键部件上的污染,并将泄漏电流从测量中隔离。
快速启动: 现场发射启动器提供更快和更可预测的启动时间。
磁铁: 去除简化了仪表安装和烘烤。
挡板: 防止溅射材料进入测量室。
易于维护: 易于拆卸的电子和磁铁, 使烘烤和安装更容易
该真空计模块通过紧凑型设计巧妙将控制电子元件和传感器技术相结合,便于安装和操作,Convectron ATM模块免去了在需要低压测量和在大气端需要压差指示应用中所需的两个传感器,例如真空系统载入载出装置的应用。
特点
线缆连接和真空计调整可以方便地定位,因而需要很小的空间
传感器管可以加热到 150℃
设定点可以调整,便于制程控制和互锁
可以进行远程校准
已获 CSA C/US 批准
线性输出 - 每十进制 1 伏特,便于与真空控制系统连接
LED 状态指示灯显示正常和故障状态
可根据需要提供非标准法兰接头。
VSP841/842 1000…100到1 x 10-3 mbar 被动式皮拉尼
应用实例
液化气储罐的真空绝缘可以保护液化气免受环境温度的影响。真空密封外壳有效隔绝了储罐和外部环境之间的热传导。
挑战
为确空绝缘的正确工作以及能够及时发现气罐或外壳中的气体泄漏,需要定期检测绝缘层中的真空状态。真空绝缘的失败将引发升温升压的一系列风险。
解决方案
使用搭载可拆卸传感器VSP842的VD84真空计可以便捷而快速地检查液化气罐的真空绝缘状态。每个气罐装配一个立的传感器固定在绝缘封装装置内。真空计定期与这些真空规连接,以便检测真空的状态。
应用领域
服务与维护
低真空泵的检测
真空干燥
真空离心机
冷却冷冻技术