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公司简介:
INFICON是一个跨国公司，INFICON分公司所在地：
（1）列支敦士登公国（Liechtenstein，和瑞士比较像。有，关税由瑞士管理。发达的资本）：我从这个分公司买很多真空计。
（2）美国：我从美国采购----膜厚度测量仪、真空计控制器的电源适配器+电缆。
（3）罗马尼亚（Romania，历史悠久。达契亚人+罗马人=罗马尼亚人。在拉丁语里，罗马尼亚是“罗马人的”的意思。2007年1月1日加入欧盟）：我们从罗马尼亚采购----真空计控制器。
2000 年 6 月，由瑞士公司 OC Oerlikon（前身为 Unaxis）于 1996 年合并的三个真空产品公司旗下的仪表业务部门组成 INFICON真空计。前公司历史比较悠久。
是仪器仪表、关键传感器和过程控制软件的供应商，致力于真空过程的生产效率和品质。
产品：
INFICON的分析、测量和控制产品，适用于空调/制冷/汽车制造行业的气体泄漏检测。 它们对许多领域的原始设备制造商 (OEM) 和用户意义重大，包括平板显示器、太阳能电池、磁光存储介质、消费性光学以及建筑玻璃的半导体和薄膜涂层复杂制造领域。
INFICON还面向许多其他行业的用户，包括生命、科研、航空航天、食品包装、热处理和激光切割等行业。
特点:
INFICON利用自身的真空产品专长，为应急响应、安保和环境监测市场提供原料分析产品。
产品型号（我们销售过的。真空计类多。在真空炉/真空镀膜/行业有常年大量配套INFICON的客户）：
INFICON 398-481 真空计控制器 VGC501 1 Channel Active Gauge Controller
INFICON 398-482 真空计控制器VGC502 2 Channel Active Gauge Controller
INFICON 353-502真空计 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
INFICON 351-010 真空计 MPG400 DN 25 ISO-KF
INFICON 膜厚仪探头SL-B1E48 Front Load Single Sensor
INFICON 3PC3-011-1100真空计PCG554 9DSub,LCD (Torr),16KF
INFICON VGC502 398-482 真空计控制器 VGC502 2 Channel Active Gauge Controller
INFICON 352-503 PGE050 16CFR
INFICON 399-720 BAG050真空计 Hot Ion DN40CF dual Iridium Fil热电离被动真空计
INFICON 399-780 BAG050真空计电缆3米长度
INFICON 399-700 VGC083A 真空计控制器 passive 3 channel controller
INFICON 399-710 Power supply to VGC083的电源
INFICON检漏仪
INFICON维修工具
INFICON气体分析仪
INFICON质谱仪
INFICON真空元件
INFICON控制器
INFICON真空计
Pfeiffer Active 系列真空计
特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
